إدخال تكنولوجيا الطلاء بالتبخير بالفراغ

تشمل تكنولوجيا الطلاء بالتبخير بالفراغ لمصنعي آلات الطلاء بالفراغ طلاء تبخير المقاومة ، طلاء تبخير شعاع الإلكترون ، طلاء تبخير شعاع الليزر ، طلاء تبخير التسخين بالحث عالي التردد ، إلخ. يسرد الجدول التالي خصائص العديد من تقنيات الطلاء التبخيري.

1. طلاء تبخر المقاومة: مصدر تبخر المقاومة يستخدم لتبخير المواد ذات نقطة الانصهار المنخفضة ، مثل الذهب ، الفضة ، كبريتيد الزنك ، فلوريد المغنيسيوم ، ثالث أكسيد الكروم ، إلخ.

2. تصفيح شعاع الإلكترون بالتبخير: بعد تبخير مادة الفيلم وتبخرها بواسطة تسخين شعاع الإلكترون ، تعتبر طريقة تسخين مهمة في تقنية التبخر بالفراغ لتكثيف وتشكيل فيلم على سطح الركيزة. هناك أنواع عديدة من هذه الأجهزة. مع التطبيق الواسع لتقنية الأغشية الرقيقة ، ليس فقط متطلبات أنواع الأغشية مختلفة ، ولكن أيضًا متطلبات جودة الأغشية أكثر صرامة. لم يعد تبخر المقاومة قادرًا على تلبية احتياجات التبخر لبعض المعادن واللافلزات. يمكن أن يحصل مصدر حرارة الحزمة الإلكترونية على كثافة طاقة أكبر بكثير من مصدر الحرارة المقاوم ، ويمكن أن تصل القيمة إلى 104-109 واط / سم 2 ، لذلك يمكن تسخين الفيلم إلى 3000-6000 ج. يوفر هذا مصدرًا أفضل للحرارة لتبخير المعادن المقاومة للصهر والمواد غير المعدنية مثل التنجستن والموليبدينوم والجرمانيوم و SiO2 و AI2O3 وما إلى ذلك. يمكن تجنب مادة الحاوية والتفاعل بين مادة الحاوية ومواد الفيلم ، وهو أمر مهم للغاية لتحسين نقاء الفيلم. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن إضافة الحرارة مباشرة إلى سطح مادة الفيلم ، وبالتالي فإن الكفاءة الحرارية عالية ، والتوصيل الحراري وفقدان الإشعاع الحراري صغير.

3. تصفيح التبخر بالتسخين بالحث عالي التردد: يتم تسخين المعدن إلى درجة حرارة التبخر باستخدام مبدأ التسخين بالحث. ضع البوتقة التي تحتوي على مادة الفيلم في وسط الملف اللولبي (غير متصل) ، وقم بتمرير تيار عالي التردد عبر الملف ، مما يجعل مادة الفيلم المعدنية تولد تيارًا لتسخين نفسها حتى تتبخر.

خصائص مصدر التبخر بالتسخين التعريفي: 1) معدل التبخر كبير 2) درجة حرارة مصدر التبخر موحدة ومستقرة ، وليس من السهل إنتاج ظاهرة رش قطرات الألمنيوم 3) مصدر التبخر مشحون في وقت واحد ، لا يلزم وجود آلية لتغذية الأسلاك ، والتحكم في درجة الحرارة سهل نسبيًا ، والعملية بسيطة 4) بالنسبة للفيلم ، تكون متطلبات نقاء المواد أوسع قليلاً.

4. تصفيح تبخير التسخين القوسي: طريقة تسخين مشابهة لطريقة تسخين شعاع الإلكترون هي طريقة تسخين تفريغ القوس. تتميز أيضًا بخصائص تجنب تلوث مواد التسخين المقاومة أو مواد البوتقة ، ودرجة حرارة التسخين عالية ، ومناسبة بشكل خاص لتبخر المعادن المقاومة للصهر ، والجرافيت ، وما إلى ذلك مع نقطة انصهار عالية وموصلية معينة. في الوقت نفسه ، فإن المعدات المستخدمة في هذه الطريقة أبسط من تلك الخاصة بجهاز تسخين شعاع الإلكترون ، لذا فهي جهاز تبخر غير مكلف نسبيًا.

5. تصفيح شعاع الليزر بالتبخير: طريقة استخدام الليزر النبضي عالي الطاقة لتبخير المادة لتشكيل غشاء رقيق يسمى بشكل عام التبخر بالليزر