طريقة قياس ومراقبة سماكة الفيلم لآلة طلاء الفراغ الحديثة

أكثر طرق التحكم في الطلاء المباشر هي طريقة الموازنة الدقيقة للكوارتز البلورية (QCM) ، والتي يمكن أن تدفع مباشرة مصدر التبخر ، وتدور الحاجز من خلال التحكم في PID للحفاظ على معدل التبخر. طالما أن الجهاز متصل ببرنامج التحكم في النظام ، يمكنه التحكم في عملية الطلاء بأكملها. لكن دقة (QCM) محدودة ، ويرجع ذلك جزئيًا إلى أنها تراقب جودة ترسيب الطلاء بدلاً من سمكه البصري.

أيضًا ، بينما يكون QCM مستقرًا جدًا عند درجات حرارة منخفضة ، فإنه يصبح حساسًا جدًا لدرجة الحرارة عند درجات الحرارة المرتفعة. أثناء التسخين لفترات طويلة ، من الصعب منع المستشعر من السقوط في هذه المنطقة الحساسة ، مما يتسبب في حدوث أخطاء كبيرة في الفيلم.

المراقبة البصرية هي الطريقة المفضلة لمراقبة الطلاءات عالية الدقة لأنها تتيح تحكمًا أكثر دقة في سماكة الطبقة (إذا تم استخدامها بشكل صحيح). ينبع التحسن في الدقة من العديد من العوامل ، ولكن السبب الأساسي هو مراقبة السماكة الضوئية.

يعتمد نظام المراقبة البصرية أحادي الطول الموجي OPTIMAL SWA-I -05 القياس والتحكم غير المباشر ، جنبًا إلى جنب مع برنامج المراقبة البصرية المتقدم الذي طوره الدكتور وانج ، لتحسين نظرية وطريقة حساسية الاستجابة الضوئية لتغييرات سماكة الفيلم إلى تقليل الخطأ النهائي ، وتوفير التغذية الراجعة أو اختيار الإرسال للأنماط ومجموعة واسعة من أطوال موجات المراقبة. إنها مناسبة بشكل خاص لمراقبة الطلاء بسماكات مختلفة بما في ذلك مراقبة الفيلم غير المنتظمة.